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質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：

質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器，它們在各種工業(yè)應用中都非常關(guān)鍵。MC標準系列設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設計的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中，壓力損失減小

更新時(shí)間：2024-06-11

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　　質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器，它們在各種工業(yè)應用中都非常關(guān)鍵。

質(zhì)量流量控制器

　　以下是一些大家經(jīng)常選購的系列：

　　1 、MC標準系列

　　其設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。以下是一些特點(diǎn)：

　　.高精度控制：能夠控制氣體的流量，確保流量保持在用戶(hù)設定值內。這對于需要氣體流量控制的實(shí)驗或工業(yè)應用很重要。

　　.穩定性能：該系列控制器性能穩定，能夠有效抑制因壓力波動(dòng)導致的影響。

　　.無(wú)需溫度壓力補償：與某些流量計不同，測量值不會(huì )因溫度或壓力的波動(dòng)而失準，因此不需要進(jìn)行溫度壓力補償，這是由于它們可直接測量通過(guò)傳感器的質(zhì)量流量。

　　.廣泛應用：適用于多種氣體，并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應用，如半導體制造、化學(xué)氣相沉積、燃燒系統等。

　　.可定制性：根據不同的應用需求，可提供定制化的選項，以滿(mǎn)足特定的操作條件和性能要求。

　　.用戶(hù)界面友好：配備直觀(guān)的用戶(hù)界面，使得設置和調整流量參數變得簡(jiǎn)單快捷。

　　.安全性：具備必要的安全特性，以確保在各種操作條件下的安全使用。

MC標準系列

　　2、MCR大流量系列

　　MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器，具備多項功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。以下是一些詳細介紹：

　　. 適用多種標準工況：能夠在不同標準溫度和壓力下工作，提供三種工況供切換，允許用戶(hù)根據實(shí)際應用需求選擇合適的工作環(huán)境。

　　. 快速響應：整合了快速響應的比例調節閥與優(yōu)化的PID控制，能夠實(shí)現控制響應時(shí)間，這對于需要迅速調整流量的工藝來(lái)說(shuō)非常關(guān)鍵。

　　. 適應性高：無(wú)論是在高溫還是低溫環(huán)境下，MCR系列都能保持穩定工作。

　　. 濕度適應范圍廣：這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內運行而不會(huì )發(fā)生冷凝，讓在不同濕度條件下設備的正常運行。

MCR大流量系列

　　3、MCW/MCRW低壓損系列的特點(diǎn)如下：

　　. 低壓損設計：這些控制器設計的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中，壓力損失減小，這對于保持系統的整體效率和成本效益較為重要。

　　. 層流差壓式原理：產(chǎn)品采用層流差壓式原理，這是一種通過(guò)測量流體流過(guò)傳感器時(shí)產(chǎn)生的壓力差來(lái)確定流量的方法，能夠實(shí)現流量控制和測量。

　　. 多樣化應用：適用于多種行業(yè)，包括實(shí)驗科研、環(huán)境保護、生物醫藥、過(guò)程控制、能源化工、半導體等，顯示出它們的多功能性和適應性。

　　. 兼容性：設計兼容多種類(lèi)型的氣體和應用，確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。

MCW/MCRW低壓損系列

　　4、MCS/MCRS耐腐蝕系列

　　MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專(zhuān)為處理腐蝕性氣體而設計的高精度設備。以下是詳細介紹：

　　. 響應速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內即可響應，可以快速達到并保持設定值，滿(mǎn)足對快速控制有要求的應用場(chǎng)合。

　　. 多變量數據: 用戶(hù)能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并且設備能顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數，方便監控和調整過(guò)程參數。

　　. 易于集成: 設計考慮了與其他系統的集成需求，使得這些控制器能夠輕松地適配到現有的工業(yè)或科研系統中。

　　. 穩定性: 除了快速響應外，MCS/MCRS系列還能夠穩定地控制目標氣體的流量。

　　. 材料: 設備的接液部分使用耐腐蝕材料制成，能夠抵抗氣體腐蝕，延長(cháng)使用壽命。

MCS/MCRS耐腐蝕系列

　　5、MCE/MCV半導體行業(yè)系列

　　MCE/MCV半導體行業(yè)系特別適用于半導體行業(yè)的真空應用。

　　MCE系列主要針對低真空應用；

MCE系列

　　MCV系列則適用于高真空應用；

MCV系列

　　以下是詳細介紹：

　　. 多變量測量與控制：這些控制器能夠同時(shí)測量和控制多個(gè)變量，如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，提供過(guò)程監控。

　　. 多種氣體標定：MCE/MCV系列支持多種氣體的標定，這意味著(zhù)它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。

　　. 量程可調比：這些控制器具備量程可調比，使得一臺設備就能覆蓋廣泛的應用范圍，從而減少了對多臺設備的依賴(lài)。

　　. 快速響應：MCE/MCV系列在控制響應速度上與其標準質(zhì)量流量控制器一樣快，這對于需要迅速調整流量的半導體工藝很重要。

　　. 緊密聯(lián)系：MCV和MCE系列在設計上緊密相關(guān)，采用的技術(shù)和應用特性相輔相成，為不同真空條件下的應用提供了解決方案。

質(zhì)量流量控制器

　　性能參數：

指標	MFC
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時(shí)間	100ms
標準狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-100%
測量流量范圍	128％（過(guò)流率）
大耐壓	145psi
輸出信號（數字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據不同類(lèi)型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）

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