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質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述:

質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業(yè)應用中都非常關(guān)鍵。MC標準系列設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。MCW/MCRW低壓損系列設計的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中,壓力損失減小

更新時(shí)間:2024-06-11

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  質(zhì)量流量控制器是控制和測量氣體流量的儀器,它們在各種工業(yè)應用中都非常關(guān)鍵。
 

質(zhì)量流量控制器

 

  以下是一些大家經(jīng)常選購的系列:
 
  1 、MC標準系列
 
  其設計旨在提供響應式的氣體流量控制并抑制壓力波動(dòng)。以下是一些特點(diǎn):
 
  .高精度控制:能夠控制氣體的流量,確保流量保持在用戶(hù)設定值內。這對于需要氣體流量控制的實(shí)驗或工業(yè)應用很重要。
 
  .穩定性能:該系列控制器性能穩定,能夠有效抑制因壓力波動(dòng)導致的影響。
 
  .無(wú)需溫度壓力補償:與某些流量計不同,測量值不會(huì )因溫度或壓力的波動(dòng)而失準,因此不需要進(jìn)行溫度壓力補償,這是由于它們可直接測量通過(guò)傳感器的質(zhì)量流量。
 
  .廣泛應用:適用于多種氣體,并且在不同的工業(yè)和科研領(lǐng)域中都有廣泛的應用,如半導體制造、化學(xué)氣相沉積、燃燒系統等。
 
  .可定制性:根據不同的應用需求,可提供定制化的選項,以滿(mǎn)足特定的操作條件和性能要求。
 
  .用戶(hù)界面友好:配備直觀(guān)的用戶(hù)界面,使得設置和調整流量參數變得簡(jiǎn)單快捷。
 
  .安全性:具備必要的安全特性,以確保在各種操作條件下的安全使用。
 

MC標準系列

 

  2、MCR大流量系列
 
  MCR大流量系列質(zhì)量流量控制器是設計用于處理較大氣體流量的儀器,具備多項功能和特性以滿(mǎn)足工業(yè)上對氣體流量控制的需求。以下是一些詳細介紹:
 
  . 適用多種標準工況:能夠在不同標準溫度和壓力下工作,提供三種工況供切換,允許用戶(hù)根據實(shí)際應用需求選擇合適的工作環(huán)境。
 
  . 快速響應:整合了快速響應的比例調節閥與優(yōu)化的PID控制,能夠實(shí)現控制響應時(shí)間,這對于需要迅速調整流量的工藝來(lái)說(shuō)非常關(guān)鍵。
 
  . 適應性高:無(wú)論是在高溫還是低溫環(huán)境下,MCR系列都能保持穩定工作。
 
  . 濕度適應范圍廣:這些控制器可在廣泛的工作濕度范圍內運行而不會(huì )發(fā)生冷凝,讓在不同濕度條件下設備的正常運行。
 

MCR大流量系列

 

  3、MCW/MCRW低壓損系列的特點(diǎn)如下:
 
  . 低壓損設計:這些控制器設計的低壓損性能使得在氣體流動(dòng)過(guò)程中,壓力損失減小,這對于保持系統的整體效率和成本效益較為重要。
 
  . 層流差壓式原理:產(chǎn)品采用層流差壓式原理,這是一種通過(guò)測量流體流過(guò)傳感器時(shí)產(chǎn)生的壓力差來(lái)確定流量的方法,能夠實(shí)現流量控制和測量。
 
  . 多樣化應用:適用于多種行業(yè),包括實(shí)驗科研、環(huán)境保護、生物醫藥、過(guò)程控制、能源化工、半導體等,顯示出它們的多功能性和適應性。
 
  . 兼容性:設計兼容多種類(lèi)型的氣體和應用,確保了在不同的操作條件下均能保持良好的工作性能。
 

MCW/MCRW低壓損系列

 

  4、MCS/MCRS耐腐蝕系列
 
  MCS/MCRS系列耐腐蝕系列是專(zhuān)為處理腐蝕性氣體而設計的高精度設備。以下是詳細介紹:
 
  . 響應速度: MCS/MCRS系列在通電后毫秒內即可響應,可以快速達到并保持設定值,滿(mǎn)足對快速控制有要求的應用場(chǎng)合。
 
  . 多變量數據: 用戶(hù)能夠以選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力,并且設備能顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數,方便監控和調整過(guò)程參數。
 
  . 易于集成: 設計考慮了與其他系統的集成需求,使得這些控制器能夠輕松地適配到現有的工業(yè)或科研系統中。
 
  . 穩定性: 除了快速響應外,MCS/MCRS系列還能夠穩定地控制目標氣體的流量。
 
  . 材料: 設備的接液部分使用耐腐蝕材料制成,能夠抵抗氣體腐蝕,延長(cháng)使用壽命。
 

MCS/MCRS耐腐蝕系列

 

  5、MCE/MCV半導體行業(yè)系列
 
  MCE/MCV半導體行業(yè)系特別適用于半導體行業(yè)的真空應用。
 
  MCE系列主要針對低真空應用;
 

MCE系列

 

  MCV系列則適用于高真空應用;
 

MCV系列

 

  以下是詳細介紹:
 
  . 多變量測量與控制:這些控制器能夠同時(shí)測量和控制多個(gè)變量,如質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,提供過(guò)程監控。
 
  . 多種氣體標定:MCE/MCV系列支持多種氣體的標定,這意味著(zhù)它們可以在不同的氣體環(huán)境下保持流量控制。
 
  . 量程可調比:這些控制器具備量程可調比,使得一臺設備就能覆蓋廣泛的應用范圍,從而減少了對多臺設備的依賴(lài)。
 
  . 快速響應:MCE/MCV系列在控制響應速度上與其標準質(zhì)量流量控制器一樣快,這對于需要迅速調整流量的半導體工藝很重要。
 
  . 緊密聯(lián)系:MCV和MCE系列在設計上緊密相關(guān),采用的技術(shù)和應用特性相輔相成,為不同真空條件下的應用提供了解決方案。

質(zhì)量流量控制器

 


 
  性能參數:

指標

MFC

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應時(shí)間

100ms

標準狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點(diǎn)漂移

0.02%

量程漂移

0.02%

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128%(過(guò)流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數字)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據不同類(lèi)型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時(shí)為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時(shí)為:0.055A)

 

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