質(zhì)量流量計常用于需要精確測量氣體流量的系統。ALICAT氣體質(zhì)量流量計是一款精密、可重復、可定制化、被設計用于各種不同應用的質(zhì)量流量計，采用的層流壓差技術(shù)保證了速度極快的線(xiàn)性測量，默認的標準功能包括：200：1量程可調比，可精確測量滿(mǎn)量程兩百分之一的流量；內置30種氣體可選，為客戶(hù)減少由于氣體種類(lèi)多樣性而造成的不必要的庫存；多功能的按鈕操作數字顯示屏，為用戶(hù)提供了無(wú)需任何通訊產(chǎn)品優(yōu)勢
更新時(shí)間：2024-06-10
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一、ALICAT氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點(diǎn)
操作簡(jiǎn)單
Alicat 質(zhì)量流量計(M系列)作為一個(gè)獨立設備，帶有多功能數字顯示屏，用戶(hù)可通過(guò)面板按鈕調節參數，無(wú)需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。
測量精確
標準型Alicat 質(zhì)量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性?xún)r(jià)比
Alicat氣體質(zhì)量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統運營(yíng)的成本，且相比與同類(lèi)產(chǎn)品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著(zhù)更多氣體進(jìn)入到系統中，而不是停留在測量?jì)x器中。除質(zhì)量流量外，M系列質(zhì)量流量計還可同時(shí)測量體積流量、壓力和溫度，您無(wú)需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監控整個(gè)應用過(guò)程及減少氣體浪費的有效的方法。
性能
M系列質(zhì)量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數字信號輸出。該系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。
反應靈敏
10毫秒典型反應時(shí)間，意味著(zhù)Alicat 質(zhì)量流量計的響應速度比您的眨眼速度至少快兩倍。
體積嬌小
ALICAT氣體質(zhì)量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。
高重復性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計幾乎沒(méi)有可移動(dòng)部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質(zhì)量流量計的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴(lài)
現有超過(guò)90000臺Alicat設備正被使用在不同領(lǐng)域中，如：科學(xué)研究、泄漏測試、環(huán)境監測、真空鍍膜、半導體、汽車(chē)制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過(guò)程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書(shū)。
二、ALICAT氣體質(zhì)量流量計性能參數
指標 | ALICAT氣體質(zhì)量流量計 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時(shí)間 | 10ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類(lèi)型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
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